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半導體晶圓槳葉干燥機

瀏覽次數:7802023/10/23  

半導體晶圓槳葉干燥機

技術領域

[0001] 本實用新型涉及干燥機技術領域,具體為一種槳葉干燥機。

背景技術

[0002] 槳葉干燥機是一種在設備內部設置攪拌槳,使濕物料在槳葉的攪動下,與熱載體以及熱表面充分接觸,從而達到干燥目的的低速攪拌干燥器,結構形式一般為臥式,雙軸或四軸。槳葉式干燥器分為熱風式和傳導式。

[0003] 現在對干燥的效率和效果的要求越來越高,傳統直接進行熱風的干燥方式已經不能滿足需求,尤其是在一些特殊物質的干燥上,例如半導體晶圓的干燥。實用新型內容

[0004] 針對現有技術的不足,本實用新型提供了一種干燥效果好的槳葉干燥機。

[0005] 為實現上述目的,本實用新型提供如下技術方案:一種槳葉干燥機,包括第一承載臂、第二承載臂、干燥罐、水箱以及接水箱,所述水箱安裝在干燥罐的頂部,所述接水箱安裝在干燥罐的底部,所述水箱的頂部設有注水口,所述注水口上設有密封帽,所述干燥罐的前側設有第一密封蓋,所述第一密封蓋與干燥罐鉸接,所述干燥罐內設有殺菌裝置、轉動軸以及噴淋頭,所述殺菌裝置為紫外線光照燈,所述殺菌裝置安裝在干燥罐的內腔頂部以及內腔的兩端側壁上,所述噴淋頭設有多個,且安裝在干燥罐內腔的頂部,所述噴淋頭通過導水管與水箱連通,所述轉動軸通過軸承安裝在干燥罐內腔的兩端,所述第一承載臂以及第二承載臂內均設有安裝槽,所述第二承載臂的安裝槽內安裝有驅動電機,所述第二承載臂上設有固定架,所述固定架上安裝有第一減速電機,所述驅動電機通過傳動齒輪與第一減速電機連接,所述轉動軸貫穿干燥罐與第一減速電機連接,所述轉動軸上設有安裝架以及槳葉,所述干燥罐上設有加熱器以及排氣閥,所述排氣閥內設有抽風機以及過濾區,所述過濾區內設有過濾裝置,所述干燥罐通過排水管與接水箱連通,所述導水管以及排水管上均設有電磁閥門,所述水箱上設有排水口,所述排水口上設有密封端蓋。

[0006] 進一步的,本實用新型改進有,所述第一承載臂的安裝槽內安裝有轉動電機以及第二減速電機,所述轉動電機通過傳動齒輪與第二減速電機連接,所述第二減速電機上設有傳動軸,所述傳動軸與干燥罐連接。

[0007] 進一步的,本實用新型改進有,所述水箱、干燥罐以及接水箱采用鋁鎂合金材質。

[0008] 進一步的,本實用新型改進有,所述密封端蓋通過螺紋桿插入排水口內,所述密封端蓋的內側設有密封墊。

[0009] 進一步的,本實用新型改進有,所述水箱以及接水箱的前側設有清理口,所述清理口為矩形結構,所述清理口上設有第二密封蓋,所述第一密封蓋以及第二密封蓋的內側設有密封邊,所述密封邊上設有密封墊。

[0010] 進一步的,本實用新型改進有,所述干燥罐的殼體上設有導熱層,所述加熱器上設有儲水腔,儲水腔上設有導水管與導熱層連通,所述儲水腔上設有注水孔。

[0011] 進一步,本實用新型改進有,所述第一密封蓋以及第二密封蓋的底部設有限位鎖,所述限位鎖包括旋鈕、彈簧、彈簧架、鎖桿以及拉繩,所述鎖桿與彈簧的一端焊接,所述彈簧的另一端與彈簧架焊接,所述彈簧架上設有通孔,所述旋鈕上設有線軸,所述拉繩的一端與線軸纏繞,另一端與穿過通孔與鎖桿連接,所述干燥罐、水箱以及接水箱上設有鎖孔與鎖桿連接。

[0012] 進一步的,本實用新型改進有,所述過濾裝置包括過濾網以及碳纖維顆粒。

[0013] 與現有技術相比,本實用新型提供了一種槳葉干燥機,具備以下有益效果:

[0014] 本實用新型通過噴淋頭,噴淋去離子水在待干燥物品的表面進行清洗,同時紫外線光照燈對待干燥物品進行消菌殺毒,在驅動電機的驅動下,轉動軸帶動安裝架轉動,從而帶動待干燥物品轉動,提高清洗面以及光照明,從而提高對待干燥物品的清洗以及滅菌效果,當干燥罐內的去離子水積攢到一定容量時,在槳葉的帶動下攪拌去離子水,從而使去離子水與待干燥物品沖刷清洗,進一步提高清洗效果,待干燥物品清洗干凈后表面無殘留物,相對可增進較佳的干燥效果。

附圖說明


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